真空炉出现于20世纪30年代前后。1927年美国制成电工材料真空退火炉。1953年真空自耗电弧炉在工业上已用于熔炼海绵钛。50年代前后真空感应炉在工业上得到广泛应用。1960年美国研制成油淬真空炉。
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